氦氣也斷氣？產發署︰可由美澳替代 半導體製程無虞
21
1
產發署說明，氦氣供應可由美澳替代，半導體製程無虞。（記者林菁樺攝）
〔記者林菁樺／台北報導〕近期外界關心「氦氣來源是否受到影響」一事，經濟部產業發展署今（14）日表示，國內氦氣供應穩定，且業者具備多元採購管道，不致受到單一地區局勢影響。
產發署說明，氦氣主要是天然氣開採過程中的副產品，廣泛應用於半導體製造、焊接保護及氣球填充等用途。過去考量採購成本，國內業者主要向價格較具優勢的中東地區（如卡達）進口。
經產發署與國內三大氣體供應業者聯繫，確認目前業者均可透過國際供應體系，從美國、澳洲等替代來源國購入氦氣，來源管道暢通，請產業界安心。
外界最為關注的半導體產業需求，產發署進一步瞭解，氦氣在半導體製程中作為鍍膜載氣及冷卻使用，國內半導體大廠製程設備多具備循環回收系統，氦氣可重複使用，因此製程可降低氦氣新料的依賴，並不影響半導體產業的正常運作。產發署將與國內三大氣體廠商保持密切聯繫，持續追蹤氦氣供需情形，確保我國氦氣供應無虞，以保障國內產業穩定運作。
來源:
