台積電關鍵材料供應商廠房爆炸起火！業界超關注談供應鏈恐有問題

台積電供應商，日本關東電化工業株式會社的三氟化氮生產設施，日前發生爆炸火災意外。（彭博資料照）

高佳菁／核稿編輯

〔財經頻道／綜合報導〕《彭博》報導，日本關東電化工業株式會社的三氟化氮生產設施，日前發生爆炸火災意外，造成1名員工不幸罹難，另1人受傷送醫，目前火災原因及財務損失仍在調查中，但引發市場對半導體供應鏈可能中斷的憂慮，因這家企業的客戶，包括台積電（2330）、三星電子（SamSung）與鎧俠（Kioxia）等。

綜合媒體報導，關東電化生產的三氟化氮佔日本總產量的90%，而7日慘遭火舌吞噬的這座工廠，位於日本群馬縣澀川。關東電化表示，這場火災導致1名員工死亡、1人受傷，澀川廠兩條生產線其中1條部分受損，當局已勒令該廠暫停運作。

三氟化氮是種有毒氣體，被用於在製造晶片時清潔基板製程腔體。根據《日刊工業新聞》報導，關東電化是台積電熊本廠三氟化氮供應商之一，Sony、三星、鎧俠、美光科技（Micron）等，也是關東電化客戶。

《日刊工業新聞》指出，鎧俠和Sony除了關東電化之外，已向南韓採購三氟化氮。

鎧俠發言人表示，這場火災不會立即衝擊鎧俠產量或7至9月獲利，原因是該公司有其他氣體來源及剩餘庫存；Sony集團半導體部門則拒絕置評，表示Sony未公布供應商名單。

岩井Cosmo證券資深分析師Kazuyoshi Saito表示，如果工廠長期關閉，「可能會加劇那些為了滿足人工智慧（AI）需求，而產能全開的晶片製造商的產能吃緊」。